納粹設立的三十多個主要集中營全都是死亡營，幾百萬囚徒挨餓受刑，死在這些集中營裡。雖然集中營當局都有記錄，每個集中營都有正式的死亡登記簿，但並不完整，而且在勝利的盟軍逼近時，許多登記簿都被銷毀了。毛特豪森集中營有一本死亡登記簿保存下來一部分，那上面記載著從一九三九年一月到一九四五年四月死亡了三萬五千三百一十八人。一九四二年底，對奴隸勞工的需要感到特別迫切時，希姆萊下令「務必降低」集中營中的死亡率。由於缺乏勞動力，他在辦公室裡接到下面這項報告時大不高興：從一九四二年六月到十一月，收容在集中營裡的十三萬六千七百名囚徒中，死亡者約七萬零六百一十人，處決者九千二百六十七人，「轉移」者二萬七千八百四十六人。所謂「轉移」就是送到毒氣室的別名。這樣，剩下來可以當勞工的人就沒有多少了。
但是在實現「最後解決」方面，取得進展最大的正是在滅絕營中。最大的也是最出名的滅絕營是奧斯威辛，它有四個大毒氣室和附設的火葬場，處死和焚化的能力遠比特萊勃林卡、貝爾賽克、錫比堡和切爾諾等其它集中營為高。它們都是在波蘭境內。在里加、維爾納、明斯克、考那斯和利沃夫附近，還有一些規模較小的滅絕營，它們與大的幾個營有一點不同，就是用槍殺而不用毒氣。
有一個時期，用何種毒氣處死猶太人效率最高，在黨衛隊領導人之間曾有過不少競爭。速度是一個很重要的因素，特別是在奧斯威辛。這個滅絕營在快要完蛋的時候，曾創造一天毒死六千人的新紀錄。一度擔任過該營長官的魯道夫‧霍斯本來是一個曾犯謀殺罪的罪犯。他在紐倫堡法庭上供述了他所使用的毒氣是優越的。
「猶太人問題的『最後解決』意味著徹底滅絕歐洲的全部猶太人。一九四一年六月，我奉命在奧斯威辛建立滅絕設備。當時在波蘭總督轄區已經有了其它三個滅絕營：貝爾賽克、特萊勃林卡、瓦爾西克——
我訪問特萊勃林卡，以便瞭解他們是怎樣進行滅絕工作的。特萊勃林卡營長官告訴我，他在半年之中已經消滅了八萬人。他的主要任務就是消滅來自華沙猶太人隔離區的全部猶太人。
他用的是一氧化物的毒氣，我認為他的辦法效率並不十分高。因此，我在奧斯威辛建立滅絕營時，用的是一種結晶的氫氰酸叫『齊克隆Ｂ』。我們把這種藥品從一個小洞投到死亡室裡去，這樣殺死死亡室裡的人，約需三分鐘到十五分鐘，視天氣情況而定。
我們知道裡面的人是什麼時候死的，因為他們一死就不再叫喚了。我們一般等待半個小時再把門打開，把屍體搬走。屍體搬走以後，我們的特別隊人員就從屍體上取下戒指，挖出假牙上的金子。
我們還有一個地方也是比特萊勃林卡有改進的：我們建造的毒氣室同時可容二千人，而特萊勃林卡的十個毒氣室每個只能裝二百人。」
接著霍斯又說明送往毒氣室去的死難者是怎樣被「挑選」出來的。所以要挑選，是因為並不是所有囚犯都要消滅——至少不是立刻消滅，因為要把其中一些人送到伊‧格‧法本化學廠和克魯伯工廠去做工，直到他們耗盡了精力，夠上「最後解決」的條件時為止。
「我們有兩名黨衛隊醫官在奧斯威辛專管檢驗運來的囚犯。一名醫官叫囚犯列隊行進，就在他們走過他面前時，當場作出決定。適合勞動的人被送迸集中營，其餘的人立刻被送到滅絕工廠。未成年的兒童都被處死，因為他們年輕，做工還不行。」
霍斯先生總是不斷改進大規模殺人的藝術。
「還有一個方面，我們也是比特萊勃林卡有改進的：特萊勃林卡的被害人往往事先就知道自己將被殺害，而我們在奧斯威辛則設法欺騙被害人，使他們相信他們是去消滅身上的蝨子。當然，他們也常常看出我們的真正意圖，我們有時也碰到一些騷亂和麻煩。婦女往往把孩子藏到衣服底下，不消說我們一發現就把孩子送去處死。
上級要求我們把這種滅絕屠殺幹得不讓人知道：但是繼續不斷地焚化屍體所發出來的令人作嘔的臭氣，不可避免地要充斥這整個地區，所有附近居民都知道奧斯威辛是在進行滅絕工作。」
霍斯解釋說，有時候對少數「特別囚犯」——顯然指的是俄國戰俘——則乾脆注射石腦油殺死。「我們的醫生奉命要填寫一般的死亡證明書，當然死亡原因一項隨便怎麼填上都可以。」
奧斯威辛倖存的囚犯和看守也敘述了當年集中營中人們被殺害和被處置的情景。他們的敘述可以補充霍斯的直率的供詞。「挑選」哪些猶太人去勞動、哪些猶太人立即用毒氣熏死的工作，是在被害人一下貨車，在鐵路的岔道上進行的。他們被鎖在貨車裡，既沒有飯吃又沒有水喝，有的長達一星期——因為許多人是從法國、荷蘭、希臘那樣遙遠的地方運來的。雖然在這時出現了夫妻、子女被強行拆散的悲慘情景，但是正如霍斯和倖存的人所說，他們誰也想不到自己將落到怎樣的下場。事實上有些人還拿到印有注著「瓦爾德湖」字樣的美麗的風景明信片，要他們簽上字寄給親人。明信片上印有這樣的話：
「我們在這裡過得很好。有工作做，待遇也不錯。我們在等待你們的到來。」
從近處看，毒氣室以及附設的焚化場絲毫不是外表可怕的所在；怎麼也看不出這會是這樣一個地方。上面是修整得很好的草地，草地四周還種上花；入口處的牌子上寫有「浴室」字樣。毫不生疑的猶太人以為只是把他們帶到浴室來消滅蝨子，因為在所有集中營消滅蝨子是很普遍的事情。而且他們在進去時還有美妙的音樂伴奏哩！
演奏的是輕音樂。據一個生還的人回憶，從囚犯中挑一些人組成了一個樂隊，參加樂隊的都是「年輕貌美的女郎，一律身穿白襯衫和海軍藍的裙子」。在挑選送進毒氣室的人時，這個獨特的樂隊就奏起《快樂的寡婦》和《霍夫曼故事》中的輕鬆曲調。她們不演奏莊嚴的、沉重的貝多芬作品。奧斯威辛的死亡進行曲是直接選自維也納或巴黎輕歌劇的輕快歡樂的曲調。伴隨著這些令人回憶起幸福和快樂年華的音樂，男女老幼被帶進「浴室」，一到裡面，就有人要他們脫下衣服準備洗「淋浴」。有時還領到毛巾。他們一走進「淋浴間」，這才開始看出有些不對頭了，因為多至兩千人像沙丁魚似地被塞進了這個房間，根本無法洗澡。這時重實的大門馬上推上了，加了鎖，還密封起來。死亡室的頂上砌有磨菇形通氣孔，它們給修整得很好的草地和花壇掩蓋得幾乎一點也看不出來，勤務兵們站在這些氣孔旁邊，準備好一接到命令，就把紫藍色的氫氰化物或稱「齊克隆Ｂ」的結晶藥物投下去。「齊克隆Ｂ」原本是作為強烈的消毒劑製造出來售賣的，而現在，如前所述，霍斯先生卻自鳴得意地發現了它的新的用途。
有些曾從附近房屋裡目擊當時情景的倖存的囚犯回憶說，有一個時期，向勤務兵們發出訊號，要他們把藥物投下去的是一個莫爾中士。「好吧，給他們點東西嘗嘗。」他說完就會大笑一陣，藥物就從氣孔裡倒進去，倒完馬上把氣孔封上。
劊子手們通過門上裝著厚玻璃的窺視孔可以看到裡邊的情況。下面那些赤身露體的囚犯們有的仰頭望著滴水不出的蓮蓬頭，有的望著地上在納悶，為什麼看不到下水道。毒氣發生效果需要過一些時間，但是囚犯們不用多久就看出毒氣是從上面的氣孔放下來的。這時人人都嚇慌了，一齊向離管子遠的地方擁去，最後衝到巨大的鐵門旁邊。據萊特林格說，在大門附近，「他們堆成了一個金字塔，人人身上發青，血跡斑斑，到處濕漉漉的。他們互相抓著、掐著想爬過去，一直到死還不鬆手」。
二三十分鐘以後，這一大堆裸露的肉體都不動彈了，抽氣機把毒氣抽掉，大門打開，「特別隊」的人員進來接手工作了。這些人都是被囚禁的猶太男子，營部答應他們免於一死，並給以足夠的食物，作為他們做這種人間最可怕的工作的報酬。他們工作時都戴上防毒面具，穿上膠皮靴，手拿水龍頭。萊特林格敘述了當時的情況。
「他們的第一項工作是，洗掉血跡和便汙，然後再用繩套和鐵鉤把互相抓著、掐著的死屍分開來，這是令人毛骨悚然的搜尋黃金和拔除死者的牙齒和頭髮的前奏；德國人認為這些牙齒和頭髮都是戰略物資，接著，便開始了這樣的旅程：先用電梯或軌道貨車將屍體運往焚屍爐，再將骨渣運到工廠磨成灰末，最後，用卡車把它們運到索拉河，撤入河中。」
許多記載表明，德國商人為了爭奪建築這種屠殺和處理屍體的新設備和供應這種致人死命的藍色結晶藥物，曾經展開了激烈的競爭。艾爾福特的製造加溫設備的托夫父子公司在投標建造奧斯威辛的火葬場時，獲得了成功。在集中營的檔案中找到的連篇累牘的信件，暴露出這家公司的商業經營的情況。從該公司在一九四三年二月十二日的一封信中可見其一斑：
「致奧斯威辛黨衛隊和警察局中央建築處：
事由：為集中營建造第二和第三個火葬場
我們已收到你們要建造五個三層焚屍