第二卷 乘波揚帆 第619章 下一代光源的抉擇

氣氛在這一刻驟然冷了下來。

文森蒂今年已年過六旬,頭髮和鬍鬚都已經花白,在短暫的驚愕後,怒意瞬間升起。

他站起身,雙手支撐在桌沿上,怒目望著史坦利。

「我可以認為你這是在對德州儀器進行指控嗎?」

史坦利毫不退縮:「我不是對你進行指控,我只是坦言一個事實。那就是,你們為大陸的遠芯提供了多少幫助,你們是明白的!」

「扯淡吧你!」卡莉的火氣騰就上來了:「星海成立在遠芯之後,你說我們提供幫助?」

史坦利冷冷一笑:「星海的最大股東是誰?」

「是星海基金。」沒等卡莉回答,史坦利繼續道:「星海基金的最大股東是誰?」

「星海的大股東是誰不重要。」卡莉瞪著史坦利,一字一句道:「我只告訴你,星海科技是一家總部位於矽谷,並遵守本國法律,其董事長以及超過四分之三的員工都是本國公民,其餘人也是擁有合法永久居住權的矽谷企業。」

「我們與遠芯科技的所有合作,都是在互利互惠的基礎上,並遵守相關的法律規定所進行的合作,我希望你明白這一點。」

卡莉說完後便騰地起身,乾脆利索地走出辦公室。

有了卡莉的這一通火,文森蒂反而冷靜了下來。

他皺著眉,沉默凝視了這位能源部中以強勢著稱,還明顯帶著冷戰思維的技術官僚幾秒後慢慢道:「史坦利先生,你任意誇大的做派,很有克格勃的風采。」

史坦利便聳了聳肩,表示自己根本不介意這個評價。

這時,張汝金突然悠悠道。

「史坦利先生,我想請教一個問題。」

「眾所周知,銅的電阻小於鋁,因此可以在更小的面積上承載更大的電流。而在大規模集成電路中,如果用銅導線工藝替換如今的鋁導線,能達到更密集的晶體管設計,提高晶元效能。同時,銅的抗電子遷移能力也優於鋁,因此,處理器的可靠性也會得到極大的提高。」

張汝金知道對方是技術官僚,對這些門兒清,因此並沒有刻意解釋,而是直接問道:「德州儀器實現了銅導線工藝,閣下認為,該工藝應可以授權給我們嗎?」

史坦利先是怔了一下,隨即便是一笑,然後又望向文森蒂:「你們實現了銅導線工藝?」

文森蒂理都懶得理他。

張汝金微微一笑:「我們德遠半導體,實現了目前最優秀的銅導線工藝,比IBM的優秀許多。」

史坦利的笑瞬間凝固。

「而且,我們願意授權給德儀。」

……

……

EUV聯盟的成立,無疑表明了能源部或者說政府的態度。那就是,技術一定要掌握在自己手裡。

蘇遠山不一樣,他就是要要噁心一下那幫人。

更何況,相比遠芯接下來的浸潤式技術,銅導線工藝遠談不上核心。

銅導線工藝只能讓德遠領先一時,再加上德遠現在的產能主要還是集中在YX架構以及快閃記憶體上,對於銅導線需求最急切的X86處理器反而因為市場緣故並沒有產能,發揮不了太大的作用。

因此,授權給德儀,讓德儀和星海聯手,一邊噁心AI兩家,同時再踩一腳島上那兩家想爬起來的代工廠,是怎麼看怎麼划算的事。

事實上,因為遠芯長期不懈地堅持挖人,島上的工程師已經流失了很多。以至於德遠科技園這邊的小區都被人稱為小TW——小區里一大半都是島上的工程師。

蘇遠山從首都直飛滬市。

……

「梁博士,晶圓廠製程工藝我是純粹的外行。」

蘇遠山和梁夢松走在科技園的葡萄長廊下——這是張汝金見遠芯這邊葡萄路搞得挺好,刻意也copy了一個,再加上可以在葡萄架下聽到牛郎織女說話的傳說,對島上這幫工程師的安撫效果意想不到的好。

蘇遠山找了個陰涼的地方和梁夢松一道坐下,呵呵笑道:「所以我就不班門弄斧了。」

「哪裡,山總的全領域精通,是世人皆知的。」梁夢松說得很坦然:「我們還是希望山總能夠指出方向。」

「真不敢——不過如果說方向的話,那就只有一條。」

「德遠的製程優先,不用考慮任何其他因素的優先。就算今後上市了,要考慮到這樣那樣,也要堅定不移地這麼走——股票愛買買,不買拉倒,大不了遠芯回購。」

梁夢松舔了一下嘴唇,身上升起一股燥熱。

——廠里都說自己是個技術狂人,但自己這點狂,在山總面前,還真的只算小兒科了。

「山總,這可是你說的。」梁夢松笑了起來:「製程推進很花錢的。」

「花錢怕什麼?只要在關鍵製程上領先一步,一筆單子就賺回來了。晶圓廠是個贏家通吃的行業,誰掌握了先進位程,誰就掌握了高端晶元代工的定價權。」

梁夢松點頭,他當然清楚,今後的製程推進會越來越難,投入需求也會越來越大——當然回報也肯定足夠豐厚。

但遠芯還有個問題。

「山總,那要是遇到光刻機禁售……怎麼辦?」

說到光刻機,蘇遠山馬上便沉默了下來。

EUV已經如歷史軌跡一樣成立——ASML這個荷蘭小公司,在簽下了幾乎是賣身契之後終於得以進入了EUV聯盟。

可以想像,在接下來的數年內,ASML將會迅速從技術上同時對尼康佳能進行追趕,並如歷史軌跡一般完成EUV的技術構想。

但歷史軌跡又不一樣的是,ASML完成對尼康佳能超越的關鍵團隊,目前在蘇遠山手上。

「只要國產光刻機仍然在追趕,禁售就不會發生。」蘇遠山抿著嘴,沉默地望向遠處的一棟大樓——那裡便是林本堅和趙凱東的聯合團隊所在的實驗室。

「而且我們一直都與多方的光刻機企業有技術支持和合作,這種交錯的關係之下,除非德遠受到了明確的針對,否則不會發生。」

梁夢松不擅長這些「大棋」,他只需要知道,蘇遠山說不會,那他就不用擔心了。

而且德遠目前也確實是尼康的友好客戶,在去年WA協定簽署後,國內半導體產業都風聲鶴唳了許久,尼康為此還特意安排了工期……後面證明,霓國方面除了加強了檢查之外,並沒有干涉德遠的訂單。

「總之走著看,我們技術越有優勢,就越有討價還價的本錢。」說著蘇遠山站起身,朝著前方的實驗室走去。

……

「林叔,趙叔。」

蘇遠山見兩人同時站在門口,連忙上前握手,梁夢松也上前打了招呼。

見到跟在蘇遠山身後的梁夢松,林本堅倒沒什麼,趙凱東則是微怔了一下——此時張汝金不在,按照規矩,負責接待陪同蘇遠山的顯然應該是德遠的二把手來……

按照職位算,梁夢松只能排到德遠的第五。

這架勢,看來蘇遠山是真鐵了心的要全力推製程突破了。

在接待室落座後,蘇遠山簡單問了一下目前的進度——在光源領域,因為林本堅的加入,趙凱東團隊進展得很快,他們即將完成193nm的準分子激光光源技術。

雖然比起國外同行落後了差不多一年多,但好歹算是追上了。而且就現有的技術和理論來看,193nm將會成為很長一段時間內都無法突破的光源。否則燈塔國那邊也不會成立EUV聯盟,找尋新的出路了。

當然,對於如何跨越193nm,除了EUV之外,也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在準備攻克157nm的HeF2激光,以及電子束投射(EPL),離子投射(IPL)、甚至X光等等……

總之,就是解決的辦法一籮筐,放眼望去全是路。

但具體哪一條是真正的正道,誰也不知道。

嗯,只有蘇遠山一個人知道。

因為這些方案,都敗給了眼前這個樂呵呵的老爺子。

「林叔,趙叔,193nm之後你們的想法是什麼?」坐到沙發上,蘇遠山端起茶杯抿了一口。

趙凱東和林本堅對視了一眼,隨後笑著道:「193nm看樣子都要停留很久,你這麼著急?」

「我本來是不著急的。」蘇遠山很坦白:「主要是老美那邊搞EUV,搞得我有點心慌。」

趙凱東便笑著搖了搖頭:「雖然說光源要比光刻機領先很多,但193nm的光源現在都尚未用在光刻機上,你心慌也沒用。」

「至於說下一代光源,其實我和老林並不十分看好157nm,因為HeF2激光可以說要完全推翻現有的光路系統,非但物鏡要重新搞,光刻膠也要重新研製……最主要的是,波長步進提升不大,且投入產出比太高了。」

「EUV,聽起來很不錯,有點下一代光源的意思。但你看EUV聯盟那架勢……

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