第三卷 志同而道合 第323章 大師傅,來折騰精度吧

「顧松去滬海了?」

田德宇點了點頭:「說是過去處理流片和工藝的前期工作。我擔心,滬海私底下提什麼條件。」

柳良木沉吟了一會:「避免不了。武湖的基礎確實比別人差,但芯火科技已經確定落戶武湖,我們把該做的工作做好。先把規劃好的地儘快安排程序,把基建工作做好。德宇,明天他的助理和負責籌建的廖總一起過來,這一趟考察,關係到廠區的設計規劃什麼時候能出來,要麻煩你協調好各單位了。」

「我會盯緊的。」

柳良木說道:「暫時先兼著這個工作,你挂帥光電產業帶的規劃,服務好芯火科技的儘快落地。相關課題的科研這一塊,還要組織武湖的科研院所研究一下,能不能盡量多參與一些。這件事關乎中湖百年發展,下一階段還有更重的擔子要交給你。」

田德宇心中一動,平靜地說:「這個事情我一定盡心盡責,不負省里的重託。」

柳良木停了一下,問道:「顧松有沒有提到,什麼時候回中湖?」

「說是滬海行程結束後,會回燕京一趟,參加完公司年會就回永寧。時間估計是20號左右。」

「只有半個月啊……」柳良木蹙著眉頭,說道,「芯火科技的奠基趕得上這個時間嗎?」

「公司註冊的程序、土地拍賣的程序……我來組織吧。」田德宇估摸了一下,還是點了點頭。

「好,趁此機會,要把光電產業帶的初步規劃思路向領導彙報。王邦元老很重視這個項目,不說今年能投產的話,今年內,芯火科技需要建好。爭取明年這個時候,光電產業帶有一個新的面貌。」

田德宇笑了笑說:「那永寧那邊也需要加把力了。」

柳良木也露出笑容來:「這就看永寧班子的能耐了。顧松是家鄉人,他在中湖的規劃不少。有些能先落地的,可以開始考慮嘛。」

「回頭我和他們聊一聊。」

……

中湖那邊擔心滬海對顧松有其他拉攏的手段,顧松其實一直泡在滬海微電子裝備和華芯國際。

關於浸潤式光刻的技術難題,顧松腦子裡自然有全套解決方案。

不管是浸潤液體的種類,還是浸沒方式、氣泡消除、污染沉積,都有辦法能夠解決。

但問題是大數值孔徑投影物鏡和偏振光的控制。

這兩個問題,就涉及到整個光刻機中最昂貴最複雜的部件了。

幾十片各種規格的鏡片,每一片都得用高純度透光材料進行高質量拋光,鏡片表面稍微有一點曲度不對,或者鏡片里的雜質產生衍射折射不對,再聚焦後的圖像缺陷會成倍放大。

且不說對鏡片材質和加工精度的事,這玩意,採用傳統的方式,不論鏡頭數量如何堆疊、如何搭配,都難以達到浸潤式光刻所需要的孔徑。

但折反式投影物鏡,就更複雜多了。

顧松倒是能給出圖紙,但問題是現在造不出來。鏡片的研磨、其他零部件加工和組裝的精度,都達不到那個水平。

這玩意,難就難在精度。有人曾打過比喻,說相當於兩架大飛機從起飛到降落,始終齊頭並進。一架飛機上伸出一把刀,在另一架飛機的米粒上刻字,不能刻壞了。

真實的情況比這還要誇張,這可是納米級的操作,頭髮絲千分之一的尺度啊。

達到這種精度的鏡片,都是手工打磨。一個鏡面的表面被分為數萬個點,每個點的誤差在十位數的納米級別。

絕對的聖手!

阿斯麥爾也不是萬能的,他也是到處採購最好的零部件,最後集成起來的。但問題是,這些最好的零部件,他沒法採購到啊。

腦子裡是有黑科技全書,可這玩意沒辦法直接操刀加工。

反倒是偏振光的控制,相對還簡單一些,雖然也是非常精密的設計和加工。

「牛總,如果我能給出全套的設計圖紙和工藝方案,你們對鏡頭加工和組裝有把握嗎?」

牛俊明確認道:「全套設計圖紙和工藝方案?」

顧松不管他的反應,只管肯定地點頭。

牛俊明臉上神色變幻,最後咬牙說道:「這個只能堆人力了,靠數量來拼。」

這也是事實,顧松也沒辦法苛求:「好,這是一個專門的課題。只要這一關過去了,浸潤式光刻需要的投影物鏡和供液裝置就突破了。」

實在不行的話,就看能不能把問題再細化,從老婆那裡再敲詐點什麼工藝技巧出來。

章儒京覺得腳很軟:「非得動投影物鏡嗎?這玩意壞了,就相當於整台機器廢了啊。」

顧松嘆了一口氣:「怪不得研發這玩意燒錢,15億太少了,光一台光刻機都燒不出來。」

「美得你!要是15億就能燒出一台光刻機,大把的人就丟錢去燒了。」章儒京翻著白眼,試圖做最後的努力,「就不能先搞250納米製程的嗎?」

「那個簡單,高製程總得突破啊。」

「那個簡單……」章儒京氣急,「簡單的你倒是先搞定啊,我這邊隨時可以配合你。」

「我這不是人還沒來嗎?等青山從武湖那邊過來,就開始攻關250納米的流片。」

「你設計做好了?」

顧松奇怪地看著他:「定好了這個流片規格,設計當然做好了。」

章儒京吸著涼氣:「你這個實驗室里真不是人,不是光工藝理論弄清楚了?連240納米製程的存儲晶元都設計好了?設計容量有多大?」

「流片的這枚簡單點,存儲單元8層,封裝4層,單顆4G的容量。」

「4G……」章儒京喃喃失語,這可是在250納米製程下做出來的容量。

180納米的呢?130納米的呢?單顆容量不得32G?

現在量產的頂級快閃記憶體才512M,03年能量產1G的不?

U盤用的低級快閃記憶體,主流的才64M、128M啊!

這真是翻天覆地的變化!

一時之間,他的心都癢起來:「廖青山什麼時候到啊?」

「後天,」顧松沒管他的反應,繼續和牛俊明討論:「現在能買到精度最好的鏡片是什麼參數?咱們的師傅進一步打磨的話,精度能提高到什麼級別?」

牛俊明半天說不出話,最後有點埋怨地說道:「你還是向上面打報告,看能不能調幾個國手來參與課題。」

章儒京和牛俊明的心情是一樣一樣的。

好氣哦,但還得陪他玩!

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